Combinaisons et chausses incontournables pour travailler sous atmosphère contrôlée.  Photo : David Cesbron.
Combinaisons et chausses incontournables pour travailler sous atmosphère contrôlée.
Photo : David Cesbron.

MICROTECHNIQUES. Inaugurée ce vendredi 29 novembre, l'extension de la salle blanche de la maison des microtechniques à Besançon double la capacité de travail sous atmosphère contrôlée.

Construit par le conseil régional de Franche-Comté, l'équipement est destiné au prototypage et à la fabrication en petites séries de composants dont la taille varie de quelques nanomètres à quelques micromètres.

L'équipement est mis à disposition des chercheurs du laboratoire Femto-St et des entreprises, en particulier les plus petites qui n'ont pas (encore) les moyens d'investir dans un tel équipement.

A l'instar de Frecnsys, une jeune pousse créée en février dernier par des chercheurs de ce laboratoire à rayonnement international.

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Sylvain Ballandras, président de Frecnsys connaît bien la salle blanche de Temis Innovation, en fonctionnement depuis 2009, au sein de la maison des microtechniques à Besançon.

Directeur de recherche au CNRS en train de muter vers l'entrepreneuriat, il exploite la ligne de prototypes et de petites séries de composants pour le compte de clients industriels, dont la capacité double avec l'inauguration, le 29 novembre 2013, d'une extension de 465 m2.

Pour réaliser ses travaux, il s'appuie sur l'équipe pluridisciplinaire de Femto-St (Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique - Sciences et Technologies) dont il est issu, tout comme ses trois associés, co-fondateurs de Frecnsys en février dernier.

Ce travail de prestataire assure le fonds de roulement de la SAS Frecnsys, dont le projet a été incubé pendant deux ans au sein de la maison des microtechniques.

Son métier est de concevoir et fabriquer des capteurs acoustiques à ondes de surface et des micro-systèmes électromécaniques (MEMS) capables de supporter des milieux inhospitaliers, par exemple des températures élevées.

Sylvain Ballandras, président de Frecnsys
Sylvain Ballandras, président de Frecnsys devant la ligne de fabrication de la première salle blanche.

Technologie de rupture

Sylvain Ballandras travaille sur le sujet depuis une vingtaine d'années à l'université et au contact d'entreprises dans le cadre de transfert de technologies.

« Nos capteurs peuvent supporter jusqu'à 1000 degrés alors qu'à 300 degrés, normalement ils ne fonctionnent plus », affirme t-il.

Une technologique qu'il baptise « de rupture », car « la France a perdu la main sur le sujet depuis le début des années 80, mais revient sur le devant de la scène avec un forte implication de la direction générale de l'armement ».

Les principaux débouchés sont l’aéronautique, la défense et le spatial, ainsi que les télécoms professionnelles et la téléphonie grand public.

Le concours d'aide à la création d'entreprises de technologies innovantes du ministère de l'Enseignement supérieur et de la Recherche donne aux nouveaux entrepreneurs le coup de pouce attendu.

Une dotation de 300 000 € permet de poursuivre les recherches entamées au sein du laboratoire Femto.St.

« Nous en avons racheté la propriété intellectuelle », expose le dirigeant.

Il lui reste à trouver 200 000 € auprès des banques, espère t-il, mais aussi grâce à des prestations comme celle engagée avec AR Electronique, une entreprise qui fabrique depuis 25 ans à Besançon des résonateurs à quartz.

Emmanuel Girardet, dont le société (chiffre d'affaires de 3,4 millions d'€, 42 salariés) est elle aussi une spin-off du laboratoire Femto-St, pilote un projet collaboratif avec Frecnsys.

L'idée des deux équipes est de trouver un autre matériau que le quartz comme support des oscillateurs.

La taille des composants varie de quelques nanomètres à quelques micromètres.
La taille des composants varie de quelques nanomètres à quelques micromètres.
Photo : David Cesbron.

Des locaux sous atmosphère contrôlée

Construite dans le prolongement de la maison des microtechniques sur la zone de Temis, la nouvelle salle blanche de 465 m2 porte à 865 m2 la surface de locaux sous atmosphère contrôlée.

L'étanchéité à la poussière, à l'humidité et aux variations de température ainsi qu'une légère surpression par rapport à l’extérieur, évitent que les particules présentes dans l’air ambiant ne viennent créer des défauts sur les composants fabriqués, dont la taille varie de quelques nanomètres à quelques micromètres.

La première salle blanche avait été construite en 2009 pour répondre aux besoins de prototypage et de fabrication en petites séries des entreprises.

Pilotée par l’institut Femto-St, spécialisé dans les microtechniques, avec quinze ingénieurs et techniciens, l'extension de la salle blanche abrite des équipements de lithographie (reproduction d’un design sur le matériau à l’aide d’une résine photosensible), de dépôt de matériaux présentant différentes propriétés : piézoélectriques, isolantes, conductrices, de gravure (usinage par voie chimique ou plasma).

S’y ajoutent les ressources de caractérisation (validation du dispositif tout au long des étapes de fabrication) ou encore de connectique (conditionnement du composant final).

Le bâtiment  en travaux qui abritera les équipes de chercheurs universitaires.
Le bâtiment en travaux qui abritera les équipes de chercheurs universitaires.
Photo : David Cesbron.

Réalisé par le conseil régional de Franche-Comté pour le compte de l'université de Franche-Comté, l'opération baptisée Temis Sciences voisinera au premier semestre 2014 avec un bâtiment de 5300 m2 en construction.

Il regroupera les équipes de l’Institut Femto-St, unité mixte de recherche rattachée au CNRS, à l’Université de Franche-Comté, à l’école nationale supérieure de mécanique et de microtechniques (ENSMM), et à l’Université de Technologie de Belfort-Montbéliard (UTBM).

Le coût global de l’opération s’élève à 33,822 millions d'€ toutes dépenses confondues, dont 1,042 millions d'€ pour la salle blanche. L'Union européenne le finance pour moitié.

Photos : David Cesbron et Traces Ecrites.

 

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